型号：	定制	商标：	万瑞
包装：	木

1. 概述
? ? 低温真空测试系统主要用于低温下固体和涂层材料的物理性能参数测量，覆盖温度范围为 -150 ℃ ~ ﹢ 150 ℃, 最低温度 -180 ℃ ，可为样品最终提供 -180 ℃ 的冷背景，使得样品处于相对稳定的温度场内。 系统主要由低温制冷系统 、 真空系统 、 控制系统几个部分组成 。 低温制冷系统需要实现样品在 -180 ℃ 的低温环境下进行连续稳定的工作。真空系统需要实现样品在真空度优于 1x10-5Pa 的真空环境下进行连续稳定的工作。控制系统 是 对制冷系统、真空系统进行集中监测和控制。

2.技术指标

指标	技术参数
低温容器结构	卧式、圆柱形
低温容器尺寸（不含封头）	≥Φ600×800mm
热沉尺寸	≥Φ400×400mm
工作温度范围	-150℃~﹢150℃
真空度	优于1×10-5Pa
样品室控温精度	±0.5℃
加热方式	电加热
热沉升降温速率	≥1.5℃ min
主泵启动后，真空室达到真空的时间	≤6h（空载）