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“真空仓组件”参数说明
“真空仓组件”详细介绍
1.概述
? ? 真空仓组件主要由高真空仓单元、低真空仓单元、平移台单元和真空机组等组成。真空仓内部设计有电控平移台,可实现样品的高精度水平移动。其功能是为了实现空载低真空仓真空度不大于8.2×10-3mbar,高真空仓的真空度不大于6.0×10-7mbar。 2.技术指标 |
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