1.概述
? ? 真空阀箱主要用于形成真空环境。
2.技术指标
? ?（1 ） 总体尺寸 :1510*1120*800 mm
? ?（ 2 ）总重： 825Kg
? ?（ 3 ）腔体漏率：低于 5×10-9Pa·m3/s