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“低温真空泵”参数说明
“低温真空泵”详细介绍
1.概述
低温真空泵(又称低温泵、冷泵、冷凝泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的容积式真空泵,是无油高真空环境获得设备。低温泵应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程,是集成电路专用设备中的关键设备之一;低温泵也用于各种其它镀膜设备和真空应用设备中。 宁波万瑞冷电科技有限公司从事低温真空产品的研发生产已有30多年历史(原来在中国电子科技集团公司第16研究所),覆盖制冷机和低温泵的质量体系通过ISO9001质量管理体系认证。CP系列低温泵已在国内多家半导体和IC生产厂家使用,在微电子工业、高能物理装置、空间模拟装置及其它工业产品的生产方面发挥了重要的作用。 2.CP系列低温泵特点 (1)真正的无油真空泵:利用低温冷板来冷凝、吸附气体而获得和保持真空,清洁无污染; (2)抽速大:特别是对H2O、H2等气体抽速很大,因而排气速度比其他真空泵快,大大提高产品产出量; (3)运行费用低:运行时只需电力和冷却水,不需液氮等低温液体,操作简单方便; (4)适应性强:真空腔内无运动部件,来自外界的干扰或来自真空系统的微粒不影响低温泵工作; (5)可以安装在任何方位; (6)运动部件少且低速运行,寿命长; (6)所有型号的低温泵都可以达到10-7Pa的极限真空度,部分特殊品种的极限真空度可达10-9Pa. 3.CP系列低温泵的应用领域 低温真空泵适合应用于希望获得10-1Pa至10-9Pa真空度的场合,尤其适合应用于要求洁净无油和/或快速抽气的场合,例如: 溅射镀膜 蒸发镀膜 离子注入 分子束外延 使用以上设备的工业真空镀膜,例如:半导体与集成电路前工序、光学镀膜、太阳能电池板、光电子器件和真空电子器件制造、平板显示器件镀膜 电子束设备 空间模拟装置 高能物理研究装置 加速器束流管 表面分析装置 质谱仪 真空排气装置 其它高真空或超高真空装置 4.技术指标 |
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